膜上有灰尘点、白雾、油斑、指纹印、口水点等等统称为膜脏，一般发生在膜内或膜外，是镀膜产品

的常见问题。部分是镀膜工序的本身造成的，部分是前工程遗留的问题，镀膜最终的品质是整个光学零件

加工的(特别是抛光、清洗)的综合反映，对于出现镀膜不良时必须综合考虑，才能真正找到不良产生的

原因，对策改善才能取得成效。

灰点脏

现象:镜片膜层表面或内部有一些点子(不是膜料点)有些可以擦除，有的不能擦除，并且会有点状

脱膜产生。

产生原因:

1、真空室脏，在开始抽真空时的空气涡流将真空室底板、护板的脏灰带到镜片上，形成灰点层。(膜

内，不能擦除，会有点状脱膜)

2、镜圈或碟片脏，有浮点灰尘，在离子束作用下附着到了镜片上形成灰点层。(膜内，不能擦除，会

有点状脱膜)

3、镜片上伞时就有灰尘点，上伞时没有检查挑选。(膜内，不能擦除，会有点状脱膜)

4、镀制完成后的环境污染是膜外灰点的主要成因，特别是当镜片热的时候，更容易吸附灰尘，而且难

以擦除。(膜外)

5、真空室充气口环境脏、开始充气量过大、充气过滤器脏，充气时镜片温度过高也是造成镜片膜外灰

尘点不良的原因。(膜外)

6、作业员人为带来的灰尘污染(膜内膜外)

7、工作环境中灰尘过多

改善思路:杜绝灰尘源

改善对策:

1、工作环境改造洁净车间，严格按洁净车间规范实施。

2、尽可能做好环境卫生。尽量利用洁净工作台。

3、真空室周期打扫，保持清洁。