真空镀膜设备是由许多精密的零部件所组成的.这些零部件均经过许多机械加工流程而制作出来.如焊接、

磨、车、刨、镗、铣等工序,正因为有了这些工作,导致设备零部件表面不可避免地会沾染一些加工带来的油

脂、油垢、金属屑、焊剂、抛光膏、汗痕等污染物.这些污染物在真空条件下易挥发,从而对设备的极限真空

造成影响

此外,这些机械加工带来的真空污染物在大气压环境中吸附大量的气体,而到了真空状态下,这些原先吸附的气

体也会被再次释放出来,成为限制直空系统的极限直空的一大主要因素,为此,在真空镀膜机零件组装之前,必

须先将污染物清除掉

在使用真空设备过程中 一零部件还会受污染,不过这种来源的污染主要是使用条件，真空泉两方面造成的

1.真空规管的灯丝在高温条件下蒸发,将导致陶瓷绝缘子上形成一层蒲膜,对其绝缘强度有一定的揾坏 对其

测量的准确性也有一定的影响:

2、由于高温蒸发,会使真空中的电子枪的灯丝附近表面形成一层金属膜

3、由于工件溅射,离子束刻蚀设备的内壁会被溅散物所污染

4、真空蒸发镀膜设备的内壁会被其蒸镀靶材材料污染;

5、经常使用真空干燥系统,该系统会受蒸发出来的物质所污染;

6、真空镀膜设备中的扩散泵油、机械泵油等更是一大主要污染来源,镀膜机长期工作后,设备内部可能会形

成一层油膜

综上所述.设备的真空卫生涉及到真空设备、真空系统、真空工艺生产等各方面与环节,涉及到了真空镀膜设

备本身和特殊真空工艺对使用条件的要求,因此,真空污染是一个值得被重视的问题,因为这些污染会影响设备

性能,应注意定期或随时进行清洁工作