加热方式分为:

(1)电阻加热:(2)感应加热:(3)电子束加热:(4)雷射加热:(5)电弧加热

各自具有的特点:?

(1)电阻加热:这是一种最简单的加热方法.设备便宜、操作容易是其优点

(2)感应加热:加热效率佳,升温快速,并可加热大容量

3)电子束加热,这种加热方法是把数+eV之高能量电子,经磁场聚焦,直接撞击蒸发物加热 温度可以高达

30000C.而它的电子的来源有二:高温金属产生的热电子,以及中空阴极放电

(4)雷射加热:激光束可经由光学聚焦在蒸镀源上,产生局部瞬间高温使其逃离.最早使用的是脉冲红宝雷射,而

后发展出紫外纯准分子雷射,紫外线的优点是每一光子的能量远比红外线高,因此准分子雷射的功率密度其高

用以加热蒸镀的功能和电子束类似.常被用来披覆成分复杂的化合物.镀膜的品质甚佳.它和电子束加热或溅射

的讨程有基本上的差异,准分子雷射脱离的是微细的颗粒,后者则是以分子形式脱离

(5)电弧加热

阴极电弧沉积的优点为:①蒸镀速率快,可达每秒1.0微米:②基板不须加热:③可镀高温金属及陶瓷化合物:④镀

膜密度高且附着力佳.